Die wichtigsten Anbieter von Industrie-, Halbleiter- und Laborvakuumpumpen weltweit — wer was herstellt, wer zu wem gehört und wo Sie sie finden. Nach Pumpentechnologie oder Markt filtern, um die Liste einzugrenzen.
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Globaler Kompressor- und Vakuumkonzern. Die Industriepumpen der Eigenmarke (z. B. drehzahlgeregelte Schraubenpumpen) stehen neben Edwards und Leybold — damit gehört Atlas Copco zu den größten Vakuumanbietern weltweit.
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Großer Anbieter von Trockenläuferpumpen und Abgasreinigung für Halbleiterfabriken sowie von Drehschieber-, Scroll- und Turbomolekularpumpen für Wissenschaft und Industrie.
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Einer der ältesten Namen der Vakuumtechnik — vom Grob- bis zum Ultrahochvakuum mit Pumpen, Messgeräten, Lecksuchern und kompletten Anlagen.
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Familienunternehmen mit einem der breitesten industriellen Vakuumprogramme, bekannt vor allem für ölgeschmierte Drehschieberpumpen in Verpackung und Verfahrenstechnik.
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Erfinder der Turbomolekularpumpe und führender Anbieter von Hochvakuumpumpen, Messgeräten, Lecksuchern und Massenspektrometern.
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Unabhängiger Hersteller von Drehschieber-, Klauen- und Seitenkanal-Vakuumpumpen und -Verdichtern für Druck, Holzbearbeitung, Verpackung und CNC-Spanntechnik.
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Industriemarke für Vakuum und Niederdruck, bekannt für trockenlaufende Drehschieber- und Klauenpumpen sowie Seitenkanalverdichter.
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Führender Name bei Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen und -Verdichtern für Papier, Energie, Bergbau und Chemie.
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Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen und Drehkolbengebläse (Roots) für Verfahrenstechnik, Abwasser und Förderung.
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Laborvakuumpumpen und -systeme für Filtration, Verdampfung, Trocknung und als Vorpumpe für Analysegeräte.
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Kompakte Vakuumpumpen und Verdichter, häufig eingebaut in Maschinen, Medizinprodukte und Instrumente.
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Japanischer Vakuumkonzern mit Pumpen, Messgeräten und kompletten Dünnschicht-Beschichtungsanlagen für Halbleiter und Flachbildschirme.
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Großer Lieferant mehrstufiger Trockenläufer- und Turbomolekularpumpen für die Halbleiterindustrie.
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Spezialist für Trockenläufer-Vakuumpumpen in der Halbleiter-, LCD- und Solarfertigung.
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Hersteller von Turbomolekularpumpen und Hochvakuumkomponenten für Forschung und Halbleiteranlagen.
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Koreanischer Hersteller von Trockenläufer-Vakuumpumpen für Halbleiter- und Displayfabriken.
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Das frühere Vakuumgeschäft von Varian: Ionengetter-, Turbomolekular- und trockene Scrollpumpen, Messgeräte und Helium-Lecksucher für Forschung und Analytik.
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Pionier ölfreier Scroll-Vakuumpumpen und -Verdichter.
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Membranpumpen-Spezialist für Labor, Analytik und Geräteeinbau, auch mit chemiebeständigen Modellen.
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Spezialist für Laborvakuum: Chemie-Membranpumpen, Vakuumregler und Pumpstände für Rotationsverdampfer.
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Hersteller der Kinney-Drehkolben- und Flüssigkeitsringpumpen sowie von Wälzkolbenpumpen für Schwerindustrie und Vakuumöfen.
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Flüssigkeitsring- und Drehschieber-Vakuumpumpen sowie komplette Systeme für Industrie, Medizin und Verfahrenstechnik.
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Traditionsreiche Marke für Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen in Chemie, Pharma und Energietechnik.
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Dampfstrahl-Vakuumanlagen und Kondensatoren für die Vakuumdestillation in Raffinerien, Chemie- und Kraftwerke.
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Drehschieber-Vakuumpumpen und -Verdichter mit hoher Leistung für den industriellen Dauerbetrieb.
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Die Vakuumbranche hat sich stark konsolidiert. Mehrere bekannte Marken gehören heute zur selben Muttergesellschaft, behalten aber eigene Produktlinien und Vertriebsnetze.
| Muttergesellschaft | Vakuummarken |
|---|---|
| Atlas Copco | Atlas Copco (Eigenmarke), Edwards, Leybold |
| Busch Group | Busch Vacuum Solutions, Pfeiffer Vacuum |
| Ingersoll Rand | Elmo Rietschle, Nash, Robuschi, Welch |
| IDEX | Gast |
| Flowserve | SIHI |
| Hersteller | Drehschieber | Schraube | Klaue | Flüssigkeitsring | Scroll | Wälzkolben (Roots) | Turbomolekular | Kryopumpe | Membran | Seitenkanal | Ionengetter | Drehkolben | Strahlpumpe |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Atlas Copco | ● | ● | ● | ● | |||||||||
| Edwards | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||||||
| Leybold | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||||||
| Busch Vacuum Solutions | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||
| Pfeiffer Vacuum | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||||||
| Becker | ● | ● | ● | ● | |||||||||
| Elmo Rietschle | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||
| Nash | ● | ||||||||||||
| Robuschi | ● | ● | |||||||||||
| Welch | ● | ● | |||||||||||
| Gast | ● | ● | ● | ||||||||||
| ULVAC | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||
| Ebara | ● | ● | ● | ||||||||||
| Kashiyama | ● | ● | |||||||||||
| Osaka Vacuum | ● | ||||||||||||
| LOT Vacuum | ● | ● | |||||||||||
| Agilent (Vacuum Technologies) | ● | ● | ● | ● | |||||||||
| Anest Iwata | ● | ||||||||||||
| KNF | ● | ||||||||||||
| Vacuubrand | ● | ● | |||||||||||
| Tuthill (Kinney) | ● | ● | ● | ||||||||||
| Dekker Vacuum Technologies | ● | ● | |||||||||||
| Flowserve SIHI | ● | ||||||||||||
| Graham | ● | ● | |||||||||||
| Pneumofore | ● |
Produktprogramme und Eigentumsverhältnisse Stand 2025; Hersteller erweitern, streichen und übernehmen regelmäßig Produktlinien. Unsicher, welche Technologie Sie brauchen? Beginnen Sie mit den Vakuumpumpen-Arten im Vergleich. Diese Website ist unabhängig und mit keinem Hersteller verbunden.
Der Weltmarkt wird von wenigen Gruppen angeführt: Atlas Copco (mit Edwards und Leybold), die Busch Group (Busch Vacuum Solutions und Pfeiffer Vacuum) und Ingersoll Rand (Elmo Rietschle, Nash, Welch, Robuschi). Japanische Anbieter wie ULVAC, Ebara und Kashiyama sind bei Trockenläuferpumpen für die Halbleiterindustrie führend.
Die eine beste Marke gibt es nicht — jeder Hersteller hat Schwerpunkte. Für industrielle Drehschieber- und Klauenpumpen sind Busch, Becker, Atlas Copco und Elmo Rietschle verbreitet; für Halbleiter-Trockenläufer Edwards, Ebara, Kashiyama und ULVAC; für Turbomolekular- und Hochvakuumpumpen Pfeiffer, Leybold, Edwards und Agilent; für Labor-Membranpumpen KNF, Vacuubrand und Welch. Entscheidend sind Pumpentechnologie, Service vor Ort und Gesamtbetriebskosten.
Es sind eigenständige Marken mit eigenen Produktlinien, aber beide gehören zu Atlas Copco — Edwards seit 2014, Leybold seit 2016.
Pfeiffer Vacuum gehört mehrheitlich zur Busch Group, der familiengeführten Muttergesellschaft von Busch Vacuum Solutions, nach deren Übernahmeangebot im Jahr 2023. Beide Marken treten weiter unter eigenem Namen auf.
Evakuierungszeit eines Behälters — oder das nötige Saugvermögen für eine Zielzeit.
Leitwert, effektives Saugvermögen, Strömungsform und Mindest-Nennweite der Leitung.
Grob-, Fein-, Hoch- und Ultrahochvakuum mit Druckbereichen, Pumpen und Anwendungen.
Drehschieber-, Scroll-, Schrauben-, Wälzkolben-, Turbomolekularpumpe und mehr im Vergleich.